蔡司公司*新推出Sigma300場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，將低電壓成像技術(shù)發(fā)揮到了極 致，采用適宜的探針電流范圍，降低50%的信噪比從而提升了85%的襯度信息。Sigma300將高 級(jí)的分析性能與場(chǎng)發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合，多種探測(cè)器可選：用于顆粒、表面或者納 米結(jié)構(gòu)成像。Sigma自動(dòng)的四步工作流程大大節(jié)省了設(shè)置與分析操作的時(shí)間，提高 效率。
產(chǎn)品應(yīng)用
掃描電鏡(SEM)廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等 檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶 粒取向測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)
? 分辨率：1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV
? 放大倍數(shù)：10-1,000,000×
? 加速電壓：調(diào)整范圍：0.02-30 kV(無(wú)需減速模式實(shí)現(xiàn))
? 探針電流：4pA-20nA (40nA&100nA可選)
? 低真空范圍：2-133Pa (Sigma 300VP可用)
? 樣品室：365 mm(φ)，275mm(h)
? 樣品臺(tái)：5軸優(yōu)中 心全自動(dòng)
? X=125mm
? Y=125 mm
? Z=50 mm
? T=-10o-90o
? R=360o 連續(xù)
? 系統(tǒng)控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系統(tǒng)，可選鼠標(biāo)、鍵盤(pán)、控制面板控制
