1.設備名稱：場發射掃描電子顯微鏡
2.型號：Merlin Compact
3.配件：X射線能譜儀(Xflash/30);氬離子拋光系統(685.C)
4.制造廠家：德國蔡司
5.功能及用途
場發射掃描電子顯微鏡可對樣品實現超高分辨率的微觀形貌觀察，配備了安裝在鏡筒內正光軸上的環形二次電子(In-lens)和能量選擇背散射式In-lens Duo探測器，帶有能量過濾柵網，可分別獲得二次電子或背散射電子圖像，在低電壓下，其二次電子和背散射電子均具有卓越的分辨能力;樣品室二次電子探測器;角度選擇背散射電子探測器(AsB);X射線能譜儀(EDS);紅外CCD相機。通過接收特征X信號，能快速進行樣品元素高精度的點、線、面掃描分析。利用氬離子拋光系統(配備有液氮冷臺)對樣品進行扇形截面(扇形角度為10到90度可調)和平面拋光，可實現對頁巖納米孔隙的觀測。
6.主要技術指標
a.分辨率：0.8 nm@15kV;1.6nm@1kV。
b加速電壓范圍：20V-30kV，以10V步進連續可調。
c.放大倍數范圍：12x-2,000,000x，高倍率與低倍率連續調。
d.探針電流：范圍5pA-20nA。
e.可分析元素范圍：Be4-Am95。
f.能量分辨率：優于129eV(Mn K);F元素K峰優于62eV;C元素K峰優于54eV。
