高效率、高質量地完成樣品制備
TEM薄片制備對于幾乎每一位雙束電鏡用戶顯得至關重要。蔡司為特定位置的樣品制備提供自動化工作流程,加工所得薄片適用于原子級別的高分辨率TEM和STEM成像和分析。導航到樣品的感興趣區域(ROI),為您從大塊樣品中提取包括感興趣區域(ROI)在內的TEM薄片,以進行大體積切割或挖槽,并在適當的位置進行提取和減薄。
導航到您的感興趣區域。導航到您的感興趣區域
1. 自動導航到樣品的感興趣區域(ROI)
無需耗時搜索感興趣區域(ROI)即可開始工作流程
使用交換艙內的導航攝像頭定位樣本
集成的用戶界面可以輕松導航到您的感興趣區域(ROI)
讓您受益于SEM的大型、無失真視場
2. 自動樣品制備(ASP)可從大塊樣品中制備薄片
通過簡單的三步流程開始制備
定義配方,包括漂移校正、沉積以及粗磨和細磨
FIB鏡筒的離子光學器件可實現高通量工作流程
復制配方并根據要求重復操作,以開始批量制備
3. 提取薄片
裝入顯微操作器并將薄片連接到其
從大塊樣品上切下薄片
然后可以提取薄片并可以運送到TEM網格
4. 減?。鹤詈笠徊胶荜P鍵,因為它決定了您的TEM薄片質量
該儀器的設計使您能夠實時監測減薄過程,獲得所需薄片厚度
同時使用兩個監測器信號來判斷薄片厚度,一方面您可獲得可重復制作的最終厚度(使用SE探測器),一方面您可控制表面質量(使用Inlens SE探測器)
制備高質量樣品,其非晶化可忽略不計