使用掃描電鏡這樣的高精密儀器，掌握正確的操作方法及良好的操作習慣意義非常重要，不僅是因為儀器價格昂貴，維修復雜，更是為了得到理想的試樣圖像及成分數據，本文就來介紹一下掃描電鏡通的操作方法以及一些注意事項，希望每個接觸掃描電鏡的科研人，或是儀器人都能掌握掃描電鏡的操作的技巧，充分利用儀器的價值，實驗和研發都能事半功倍!
掃描電鏡的基本操作流程
開機(電源開關和準備開關均為打開狀態)
■開水(系統不報警方可);
■開掃描電鏡總電源;
■電氣柜后面開關打開，將自動/手動(AUTO/MAN)開關拔到自動(AUTO)的位置，此時電爐進行加熱:
■抽真空30分鐘后， 斷開準備開關;
■開掃描電鏡系統軟件;
■打開主機前面面板上的電氣柜開關，抽真空10分鐘。
準備觀測圖像
■打開V1閥，此時鏡筒真空已準備好，用左手延徑水平方向拉開V1閥，閥桿下面的彈片將V1閥固定在打開位置;
■加高壓(30KV)導電性不好的產 品(20-25KV),加高壓時Z好按著每步的速度逐步增加，如果長按按鈕，高壓會連續快速增加，不容易控制到要求的數值;
■調節掃描電鏡對比度和亮度:
①調節對比度，使圖像上出現- -些噪聲為Z佳，一般情況下在60左右;
②調節圖像亮度，使屏幕顯示的灰度合適，一般情況下，相應的數字參數值為0-20左右;
■加燈絲:順時針慢慢旋轉燈絲加熱旋鈕，直至發射束流飽和，燈絲加熱旋鈕指示正常在6-7之間，調節偏壓束流為100uA左右;
■機械對中:掃描電鏡每次換燈絲后需旋轉鏡筒頭上的三個螺釘，使圖像顯示到最清楚的點;
■物鏡光闌對中(合軸):
①選區，并挑選圖像上的-一個特征點;
②選擇放大倍數1 000-2000范圍;
③反復調節粗調，使圖像聚焦至不聚焦往反進行，觀察圖像的移動;
④調節物鏡光闌的兩個螺鈕，使圖像不發生位移或圖像移動Z小為止;
系統停機
■關閉掃描電鏡加熱燈絲:逆時針旋轉燈絲加熱旋鈕到底，旋鈕標記指示在"ON"的位置，束流顯示的束流為0UA;
■將對比度降至更低，使其數字參數值為0，關閉高壓，使其數字參數值為0;
■關閉V1閥:用左手將V1閥閥桿下面的彈片沿上按在閥桿上，用手掌徑向水平推V1閥，當V1閥完全推到底后，再用力推一下V1 閥的閥桿，確保V1閥完全關閉;
關閉掃描電鏡主機面板.上的電氣柜開關，打開準備開關，將主機后的開關自動/手動(AUTO)/(MAN)打到手動(MAN)的位置，冷卻電爐30分鐘。
關閉系統軟件-關電氣柜開關-關總電源→關水。
要獲得一張清晰的掃描電鏡照片，必須要能夠做好基本的電鏡操作、以及針對各種樣品做出工作條件的優化。
