蔡司掃描電鏡GeminiSEM系列是一款重視技術(shù)的全面性與均衡性的產(chǎn)品
歷經(jīng)30年發(fā)展，從最初的DSM 982 GEMINI到LEO、Supra、Ultra、Merlin直至現(xiàn)今的蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM系列(查看更多)(以下簡稱蔡司GeminiSEM)，依托蔡司Gemini電子光學(xué)技術(shù)(以下簡稱Gemini技術(shù))獨(dú)特的復(fù)合物鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，針對SEM表征難點(diǎn)，可以輕松實(shí)現(xiàn)一機(jī)在手，樣樣不愁的使用目標(biāo)。
電子束敏感、導(dǎo)電性欠缺且無法噴鍍的樣品表征
該情況需要利用較小的加速電壓對其進(jìn)行成像觀察，蔡司GeminiSEM電子鏡筒的無交叉斑光路設(shè)計(jì)減少了電荷之間的相互作用，保證了低電壓下的分辨率。
同時，鏡筒內(nèi)的Beam Booster技術(shù)可在光路中實(shí)現(xiàn)對電子束自動加減速，保證了低電壓下小束斑的穩(wěn)定性，促使了蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM在低電壓下的高分辨成像性能。
磁性樣品表征
蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM鏡筒全系均采用電磁透鏡和靜電透鏡復(fù)合物鏡結(jié)構(gòu)，保障了物鏡下方無磁場泄露，在改善分辨率的同時，實(shí)現(xiàn)了低電壓下近距離高分辨觀察磁性樣品的目的。
